Индустриалнен микроскоп ZEISS Axio Imager Vario
Описание
Могат да се изследват автоматично големи образци – подходящ за работа в чисти стаи.
Може да анализира от най-малките MEMS сензори до XXL пластини и дори цели дисплеи от плоски панели без да бъдат разрушавани. Благодарение на възможната височина на образеца до 254 mm и хоризонтално пространство до 300 mm, с Axio Imager Vario е възможно да се изследват образци с най- широк обхват от размери. Дизайнът с колони осигурява добра стабилност. За контрол на пластини в чиста стая – Axio Imager Vario е сертифициран според DIN EN ISO 14644-1 и отговаря на изискванията за клас 5. Моторизираното z-задвижване в комбинация с хардуера за автофокус (Hardware Auto Focus) осигурява автоматично настройване на оптималната фокус позиция.
Предимства
- Максимална височина на образеца до 254 mm и хоризонтално пространство за образеца до 300 mm x 300 mm. Избор между две ръчни и една моторизирана колона с гъвкаво промишлено 3-бутонно-действие.
- Axio Imager Vario фокусира с обектива директно върху образеца. Това означава, че може да се постигне висока точност и повтаряемост на фокусирането, особено при тежки образци.
- С помощта на хардуера за автофокус (Hardware Auto Focus) се улеснява прецизното и бързо фокусиране на отразяващи образци, които не са много контрастни.
- С Axio Imager Vario в комбинация с LSM 700 могат да се анализират чувствителни образци с висока резолюция без контакт.
- Axio Imager Vario е сертифициран съгласно DIN EN ISO 14644-1 и отговаря на изискванията за чисти стаи клас 5.
Чиста стая
Производството на полупроводници и инспекция на пластини се извършва в чисти стаи. Чистите стаи са класифицирани съгласно DIN EN ISO 14644-1 по брой и размер на частиците за m³. Axio Imager Vario е сертифициран съгласно този стандарт и отговаря на изискванията за чиста стая клас 5. Чиста стая клас ISO 5 е еквивалентна на клас 100 от стария стандарт FED STD 209E (1992). Използвайте комплекта за чиста стая, който съдържа 7x револверна глава за обективи, предпазване от частици и кихане.
