TargetMaster
Описание
Най-важната част на TargetSystem е TargetMaster, който представлява 200 mm микрополиращо устройство със затворена камера за полиране. Отнемането на материал при първите стъпки на подготовка се контролира с електронна измервателна система за бързо достигане на целта. Втора, паралелна лазерна измервателна система управлява необходимите стъпки на полиране.
